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微細加工技術(shù)雜志

微細加工技術(shù)雜志統(tǒng)計源期刊

Microfabrication Technology

同學科期刊級別分類 CSSCI南大期刊 北大期刊 CSCD期刊 統(tǒng)計源期刊 部級期刊 省級期刊

  • 雙月刊 出版周期
  • 43-1140/TN CN
  • 1003-8213 ISSN
主管單位:信息產(chǎn)業(yè)部
主辦單位:中國電子科技集團公司第48研究所
創(chuàng)刊時間:1983
開本:A4
出版地:湖南
語種:中文
審稿周期:3-6個月
類別:電子
被引次數(shù):
數(shù)據(jù)庫收錄:

知網(wǎng)收錄(中)、維普收錄(中)萬方收錄(中)、EI 工程索引(美)、國家圖書館館藏、上海圖書館館藏

微細加工技術(shù)雜志簡介

《微細加工技術(shù)》雜志創(chuàng)刊于1983年,是國家科委和國家新聞出版署批準,國內(nèi)外公開發(fā)行的中央級重要科技期刊。

微細加工技術(shù)雜志欄目設(shè)置

本刊綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機械加工技術(shù)、納米技術(shù)。

微細加工技術(shù)雜志榮譽信息

微細加工技術(shù)雜志訂閱方式

地址:長沙市第96號信箱301分箱(長沙黑石鋪),郵編:410111。

微細加工技術(shù)雜志社投稿須知

(一)基本要求來稿要求題材新穎、內(nèi)容真實、論點明確、層次清楚、數(shù)據(jù)可靠、文句通順。文章一般不超過5000字。投稿請寄1份打印稿,同時推薦大家通過電子郵件形式投稿。

(二)文題文題要準確簡明地反映文章內(nèi)容,一般不宜超過20個字,作者姓名排在文題下。

(三)作者與單位文稿作者署名人數(shù)一般不超過5人,作者單位不超過3個。第一作者須附簡介,包括工作單位、地址、郵編、年齡、性別、民族、學歷、職稱、職務;其它作者附作者單位、地址和郵編。

(四)摘要和關(guān)鍵詞所有論文均要求有中文摘要和關(guān)鍵詞,摘要用第三人稱撰寫,分目的、方法、結(jié)果及結(jié)論四部分,完整準確概括文章的實質(zhì)性內(nèi)容,以150字左右為宜,關(guān)鍵詞一般3~6個。

(五)標題層次一級標題用“一、二、……”來標識,二級標題用“(一)、(二)、……”來標識,三級標題用“1.2.”來標識,四級標題用“(1)、(2)”來標識。一般不宜超過4層。標題行和每段正文首行均空二格。各級標題末尾均不加標點。

(六)計量單位、數(shù)字、符號文稿必須使用法定的計量單位符號。

(七)參考文獻

限為作者親自閱讀、公開發(fā)表過的文獻,只選主要的列入,采用順序編碼制著錄,按其文中出現(xiàn)的先后順序用阿拉伯數(shù)字編號,列于文末,并依次將各編號外加方括號置于文中引用處的右上角。書寫格式為:作者.文題.刊名年份;年(期):起始頁.網(wǎng)上參考材料序號.作者.文題網(wǎng)址(至子--欄目).上傳年月。

為保證本刊的權(quán)威性,杜絕任何形式的抄襲稿。稿件文責由作者自負,編輯部有權(quán)作必要的修改。文稿在3個月內(nèi)未收到退修或錄用通知,作者可自行處理,另投他刊。未被錄用的稿件一般不退稿,請自留底稿。

微細加工技術(shù)雜志范例

0.1微米電子束曝光機成像系統(tǒng)的計算

激光直寫系統(tǒng)制作掩模和器件的工藝

LIGA技術(shù)制作Fresnel波帶片的研究

金屬型場發(fā)射陣列的研究

一種微摩擦力光學測試方法

SU-8環(huán)氧樹脂的分離實驗研究

利用等離子體表面預處理改善光掩模IP膠顯影工藝特性

多層薄膜微結(jié)構(gòu)熱應力計算

脈沖電鍍制備硅基細晶鎳鐵合金薄膜

PECVD法制備的ZnO薄膜結(jié)晶性能的影響

采用氨化技術(shù)制備成簇生長的光滑線狀氮化鎵

痕量爆炸物爆燃探測敏感元件的結(jié)構(gòu)設(shè)計

新型壓電微噴的研制

硅柵干法刻蝕工藝中腔室表面附著物研究

MEMS微電磁驅(qū)動器磨損對光開關(guān)性能的影響分析

微細加工技術(shù)雜志發(fā)文分析

主要資助課題分析

資助課題 涉及文獻
國家自然科學基金(90307003) 13
山東省自然科學基金(Y2003G03) 12
國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(2003CB716204) 7
國家自然科學基金(59671051) 7
山東省科技攻關(guān)計劃(022090105) 7
國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2004AA404260) 5
國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2003AA404150) 4
國家自然科學基金(10572078) 4
國家自然科學基金(50275140) 4
國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2003AA404140) 3

主要資助項目分析

資助項目 涉及文獻
國家自然科學基金 256
國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃 65
國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃 54
國家教育部博士點基金 17
國家重點實驗室開放基金 15
山東省自然科學基金 13
中國科學院知識創(chuàng)新工程 11
中國博士后科學基金 10
上海市自然科學基金 8
中國科學院知識創(chuàng)新工程重要方向項目 8
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